Die Abbildung links zeigt einen 308 HR mit Multivakuumdurchführung Ø 305 mm x 358 mm sowie Cryo-Top-Plate. Die Modularbauweise der 308er erlaubt eine individuelle Bestückung, ganz auf das spezielle Einsatzgebiet zugeschnitten. Nähere Einzelheiten auf Anfrage.
Bedampfung
Große Bandbreite an Bedampfungstechniken steht zur Verfügung: Schiffchen, Heizspiralen oder Verdampfungstiegel
Kompaktes Halter-Design erlaubt eine äußerst flexible Anordnung der Verdampfungsquellen in der Kammer
Mehrquellensysteme und Varianten mit alternativen Verdampfungsquellen sind nebeneinander möglich (z.B. Kombination von Sputtern mit E-Beam-Verfahren)
Wassergekühlte Quellen in Verbindung mit Hochenergienetzteilen erlauben die Bedampfung mit einer Vielzahl unterschiedlicher Materialien
Sputtern
Große Auswahl an diversen Beschichtungsmaterialien
Freie Positionierung der Sputterköpfe innerhalb der Probenkammer durch besonders kompaktes Sputterkopfdesign
Kombination mehrerer Sputterköpfe, sowie ein Mix unterschiedlicher Beschichtungstechnologien (Verdampfung /Elektronenstrahl) möglich
Mixed-Technology Coating
Ausgeklügeltes Kammerdesign ermöglicht die Kombination unterschiedlicher Beschichtungstechniken (Sputtern, E-Beam, PVD)
Programmierbare Turbopumpe erlaubt den raschen Wechsel von Sputter- zu Bedampfungsvakuum
Mehrere Sputterköpfe und PVD-Quellen können in einem einzigen Beschichtungszyklus genutzt werden
Schichtdickenmessung
Exakte Schichtdickenmessung mittels kompakter Messsonden mit optionaler Schichtdickenkontrolleinheit
thin film research, thin film coating, high vacuum coating technology REM - und TEM - Beschichtungsanlage mit Hochvakuumtechnologie, Cressington 308R 308HR
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