Der 328 UHR verfügt über einen Dual-Sputterkopf, der das sequenzielle Beschichten mit Metallen ermöglicht, ohne das Vakuum aufzuheben. Der Sputterstrom der leistungsstarken HR-Sputterköpfe lässt sich kontinuierlich bis 80 mA einstellen. Es steht eine große Bandbreite an Metalltargets zur Besputterung zur Auswahl, unter anderem Cr, Ti, Ni und Ir. |