Cressington 328 family
ultra high quality coating

Mit den neuen Generationen höchstauflösender FE-REM und TEM steigt die Notwendigkeit, ultradünne, strukturfreie Metall- oder Kohlenstoffschichten zu erzeugen. Dadurch werden sehr hohe Ansprüche an die Probenpräparation gestellt. Hier liegt die Stärke der 328 family Beschichtungsanlagen.

Spezifikationen

Hochvakuumpumpsystem, bestehend aus einer Kombination von Turbopumpe und Cryopumpe
(Endvakuum ca. 6 x 10-8 mbar)

Probenschleusensystem für schnellen Probenwechsel und extrem kurze Vakuumpumpzeiten

Großer, robuster Edelstahlrezipient (Ø: 200 mm, h: 230 mm)

euzentrischer Rotations-Kipp -(R-T-) Probentisch für homogene Beschichtungen

exakte Schichtdickenmessung mittels kompakter Messsonde (Schichtdickenkontrolleinheit MTM 20 optional erhältlich)
 

Sputter Coater 328 UHR

Der 328 UHR verfügt über einen Dual-Sputterkopf, der das sequenzielle Beschichten mit Metallen ermöglicht, ohne das Vakuum aufzuheben. Der Sputterstrom der leistungsstarken HR-Sputterköpfe lässt sich kontinuierlich bis 80 mA einstellen. Es steht eine große Bandbreite an Metalltargets zur Besputterung zur Auswahl, unter anderem Cr, Ti, Ni und Ir.
 

EB Carbon Coater 328 EB carbon

Der 328 EB carbon bietet Electron Beam Kohlenstoffbedampfung zu einem vergleichsweise günstigen Preis. Die von ihm abgeschiedenen ultra-dünnen Kohlenstoffschichten sind strukturfrei. Daher eignen sich diese insbesondere für EBSD-Beschichtungen sowie für höchstauflösende FE-REM und TEM Untersuchungen.
Durch Austausch des EB-Bedampfungsstifts gegen einen Pt/C Stift lassen sich mittels LARS-Methode (Low Angle Rotary Shadowing) biologische Makromoleküle (DNA, Polysaccharide etc.) komfortabel beschatten.
 

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thin film research, thin film coating, high vacuum coating technology
REM - und TEM - Beschichtungsanlage mit Hochvakuumtechnologie, Cressington 308R 308HR