Besitzen Sie ein altes CamScan REM und würden es gerne auf den neuesten Stand der Technik bringen lassen? Wir haben die Lösung für Sie!
Das EOScan VEGA XLH REM basiert auf von EO generalüberholten großen CamScan Probenkammern mit deren bewährt stabilen Probentischen.

Diese werden von TESCAN mit der innovativen VEGA-Elektronenoptik, Softwaresteuerung und Elektronik, sowie einem neuen Vakuumsystem ausgestattet.

Im Normalfall erhält der Kunde sein neues EO Scan VEGA XLH im direkten Austausch gegen sein altes CamScan REM. Es fallen also keine längeren Ausfallzeiten an.
Falls der Kunde seine alte Probenkammer mit Probentisch behalten möchte und auf sein REM für einige Wochen verzichten kann, wird sein REM speziell für ihn umgebaut.
 

Typ

EOScan  VEGA XLH

Kammer

315 x 315 x 315 mm mit 30° Abnahmewinkel*, 10 freie Flansche, Einblickfenster, automatische Innenbeleuchtung durch LED

Probentisch

Euzentrischer Goniometertisch, motorisiert in X = 100 mm und Y = 50 mm*, Z = 60 mm, Z’ = 10 mm, R = 360° kontinuierlich - motorisiert, Kippwinkel = -5° bis +90°, max. Probenhöhe = 80 mm

Auflösung

3,0 nm

Vakuum

Hochvakuum < 1*10-2 Pa

Arbeitsmodi

Resolution, Depth, Field, Wide Field, Rocking Beam

Vergrößerung

3 bis 1.000.000 fach, 3 fach im Wide Field Modus

Detektoren
Standard
Option

 
SE, Strahlstrommessung, Berührungsmelder
RE, TE, EBIC, EBSD, EDX, WDX, CCD Kamera ...

Beschleunigungsspannung

200 V bis 30 kV

Kathodensystem

Wolfram-Haarnadelkathode

Strahlstrom

1pA bis 2 µA

Vakuumsystem

Vollautomatisch, inklusive Rotationsvorpumpe und luftgekühlter Turbomolekularpumpe; Pumpzeit ca. 2-3 Minuten

Systemvoraussetzungen

230 V / 50 Hz oder 120 V / 60 Hz, 1300 VA,
kühlwasserfreies System, trockener Stickstoff 1,5 bis 5 bar,
Druckluft 4,5 bis 6 bar, minimale Aufstellfläche 3 x 3 m (Geräteabmaße ca. 2,25 x 1,10 m)

* weitere Kammern und Tische auf Anfrage

Wide Field Optics™ und In-Flight Beam Tracing™ sind eingetragene Warenzeichen von Tescan, a.s.
Windows™ ist ein eingetragenes Warenzeichen der Microsoft Corporation USA und anderer Länder.