| | | | | | |  | | | | Besitzen Sie ein altes CamScan REM und würden es gerne auf den neuesten Stand der Technik bringen lassen? Wir haben die Lösung für Sie! Das EOScan VEGA XLH REM basiert auf von EO generalüberholten großen CamScan Probenkammern mit deren bewährt stabilen Probentischen. |
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| Diese werden von TESCAN mit der innovativen VEGA-Elektronenoptik, Softwaresteuerung und Elektronik, sowie einem neuen Vakuumsystem ausgestattet.
Im Normalfall erhält der Kunde sein neues EO Scan VEGA XLH im direkten Austausch gegen sein altes CamScan REM. Es fallen also keine längeren Ausfallzeiten an. Falls der Kunde seine alte Probenkammer mit Probentisch behalten möchte und auf sein REM für einige Wochen verzichten kann, wird sein REM speziell für ihn umgebaut. |
| Typ | EOScan VEGA XLH | Kammer | 315 x 315 x 315 mm mit 30° Abnahmewinkel*, 10 freie Flansche, Einblickfenster, automatische Innenbeleuchtung durch LED | Probentisch | Euzentrischer Goniometertisch, motorisiert in X = 100 mm und Y = 50 mm*, Z = 60 mm, Z’ = 10 mm, R = 360° kontinuierlich - motorisiert, Kippwinkel = -5° bis +90°, max. Probenhöhe = 80 mm | Auflösung | 3,0 nm | Vakuum | Hochvakuum < 1*10-2 Pa | Arbeitsmodi | Resolution, Depth, Field, Wide Field, Rocking Beam | Vergrößerung | 3 bis 1.000.000 fach, 3 fach im Wide Field Modus | Detektoren Standard Option | SE, Strahlstrommessung, Berührungsmelder RE, TE, EBIC, EBSD, EDX, WDX, CCD Kamera ... | Beschleunigungsspannung | 200 V bis 30 kV | Kathodensystem | Wolfram-Haarnadelkathode | Strahlstrom | 1pA bis 2 µA | Vakuumsystem | Vollautomatisch, inklusive Rotationsvorpumpe und luftgekühlter Turbomolekularpumpe; Pumpzeit ca. 2-3 Minuten | Systemvoraussetzungen | 230 V / 50 Hz oder 120 V / 60 Hz, 1300 VA, kühlwasserfreies System, trockener Stickstoff 1,5 bis 5 bar, Druckluft 4,5 bis 6 bar, minimale Aufstellfläche 3 x 3 m (Geräteabmaße ca. 2,25 x 1,10 m) |
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| | | * weitere Kammern und Tische auf Anfrage |
| | | Wide Field Optics und In-Flight Beam Tracing sind eingetragene Warenzeichen von Tescan, a.s. Windows ist ein eingetragenes Warenzeichen der Microsoft Corporation USA und anderer Länder. |
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