Grundlegende Spezifikationen: |
- | W-Kathodensystem mit hoher Lebensdauer (ca. 150 - 200 Stunden) |
- | Auflösung: < 5 nm bei 30 kV und WD 8 mm |
- | Anregungsspannung: 500 V - 40 kV, kompensiert |
- | Emissionsstrom: 5 - 500 µA, mit Auto Beam Control |
- | Kathoden-Abbildung/-Zentrierung |
- | Aperturblenden-Wechsler: Dreifach mit Einzelblenden und Präzisionszentrierung |
- | SE-Detektorsystem auf Kugelgelenk zum Verändern der Lage |
- | BSD-Robinson-Detektorsystem, verschiebbar unter Vakuum |
- | Zweikanal-Bildschirm-Technik für unterschiedliche Live /Speicherbilder |
- | Vergrößerung: 6x bis 400.000x |
- | Vollständige Bildbeschriftung mit Maßstab, fünfstelliger Fotonummer und kV-Anzeige |
- | Signalmanipulationen mit: Gamma, Invertierung, Differenzierung, Graustufen-Generator |
- | Raster-Betriebsmodi mit: Auto Tracking, Dual Line Profile, Split Screen, Dual Magnification, Variable und Fixed Raster, Waveform Monitor, Line Scan, Y-Modulation |
- | Digitaler Doppelbildspeicher mit 4 Speichern A+B+C+D |
- | Sonstiges: Spot Size (11-stufig), Focus Wobbler, Hysteresis Compensator, WD-Preset, Digitale WD-Anzeige, Scan Rotation, 8-fach Stigmator, Beam Shift, Dynamic Focus, Tilt Correction |
- | Voll-Euzentrischer Probentisch (4x2") für Proben bis 150 mm Durchmesser |
- | Motortischantrieb in X = 100 mm und Y = 50 mm Z = 60 mm,
Kippung -5° bis +90°, 360° Rotation (jeweils manuell) |
- | Vollautomatisches Vakuumsystem mit Rotations- und Öl-Diffusionspumpe und Pirani/Penning Messwertüberwachung |
- | Antivibrations-System mit automatischer Nivellierung (pneumatisch geregelt)
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- | Auf Anfrage auch mit gebrauchtem oder neuem EDX-System
(mit oder ohne digitaler Bildverarbeitung) |
