Als Dekontaminationssystem bieten wir ebenfalls das
XEI Scietific, Inc. “Evactron Model 25 De-Contaminator” an.
Eingebettete Steuerung
Vorteil des XEI Evactron 25 ist die Einbindung des Dekontaminators in die TESCAN Software-Umgebung*. Dadurch kann der Reinigungsprozess komfortabel vom TESCAN REM bzw. FIB-REM aus gesteuert werden.
Kontamination
Der Elektronenbeschuss einer Proben-oberfläche im REM oder FIB-REM bewirkt häufig Kontamination in Form eines dunklen Rechtecks des Rasterfeldes. Ursache sind im REM vorhandene, oder durch verschmutzte Proben eingeschleppte Kohlenwasserstoffe. Sie werden durch den Elektronenstrahl gecrackt und lagern sich im jeweiligen Rasterbereich als Schicht ab.
Reinigung
Durch Reinigung von Proben und Probenkammer wird die Kontaminierung stark reduziert. Der Kohlenwasserstoff wird durch das Plasma des Evactron 25 in die Einzelbestandteile aufgespalten. Diese werden über die Vakuumpumpen abgepumpt. Zur Dekontaminierung sind keine Zusatzgase notwendig, es reicht die normale Raumluft.
Anschluss
Der Anschluss an TESCAN REM / FIB-REM erfolgt über einen DIN KF40 Flansch.
* abhängig von der TESCAN Software-Version des REM/FIB-REM!
| 
