Focused Ion Beam Mikroskope

VELA Focused Ion Beam W-REM
LYRA Focused Ion Beam FE-REM
FERA Plasma Focused Ion Beam FE-REM

TESCAN
VELA, LYRA, FERA
Focused Ion Beam und
Plasmaquellen Focused Ion Beam
Dual Column (Zweisäulen) REM mit Wolfram- oder FE-Kathodensystem

Vakuumsystem

High

Uni

High

Uni

High

Uni

Hochvakuum

X

X

X

X

X

X

Niedervakuum

X

X

X

W-Kathode

X

X

LaB6-Kathode

O

O

FE-Kathode

X

X

X

X

XM-Kammer

X

X

X

X

X

X

GM-Kammer

X

X

X

X

X

X

(Gallium) Canion

X

X

O

O

(AuSi) Canion C31X

O

O

(Gallium) Cobra

X

X

(Xenon) Plasma

X

X

LVSTD Detektor

O

O

O

X = Standard, O = Option, - = nicht erhältlich


VELA / LYRA / FERA
Detektoren / Kammer

Kombination

XM

GM

SE

X

X

BSE

X

X

R-BSE

O

O

(nur bei Uni-Vac) LVSTD

O

O

TE

O

O

KL

O

O

SITD

O

O

EBIC

O

O

EDX

O

O

WDX

O

O

EBSD

O

O

TOF-SIMS

O

AFM-STM

O

X = Standard, O = Option, - = nicht erhältlich


Jetzt auch erhältlich mit der neuen
TESCAN GM-Probenkammer sowie
drei unterschiedlichen FIB-Säulen

Mit seinen VELA und LYRA Focused Ion Beam Mikroskopen (FIB-REM) bietet TESCAN hervorragende Werkzeuge für den Einsatz in der Nanotechnologie an. Diese eignen sich sowohl für den Einsatz in Forschung wie auch in der Industrie, für die Untersuchung von Nanopartikeln bzw. Nanomaterialien sowie die für Nanoanalytik oder Nanomanipulation. Nanomanipulator, Nano, Nanotechnik, Analytik

Machen Sie mit beim Projekt Nanowerkbank!
 

 
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Nanomanipulation im Rasterelektronenmikroskop - Die Nanowerkbank