Focused Ion Beam Mikroskope

TESCAN ORSAY HOLDING
LYRA Focused Ion Beam FE-REM
GAIA Focused Ion Beam UHR FE-REM
FERA Plasma Focused Ion Beam FE-REM
XEIA Plasma Focused Ion Beam UHR FE-REM

TESCAN LYRA / GAIA Focused Ion Beam (FIB-) und FERA / XEIA Plasmaquellen Focused Ion Beam (PFIB-) Dual Column (Zweisäulen) REM mit FE-Kathodensystem

LYRA

GAIA

FERA

XEIA

Vakuumsystem

High

Uni

High

Uni

High

Uni

High

Uni

Hochvakuum

X

X

X

X

X

X

X

X

Niedervakuum

X

X

X

X

FE-Kathode

X

X

X

X

X

X

X

X

XM-Kammer

X

X

X

X

X

X

X

X

GM-Kammer

X

X

X

X

X

X

X

X

(Gallium) Canion

X

X

(Gallium) Cobra

O

O

X

X

(Xenon) Plasma

X

X

X

X

LVSTD Detektor

O

O

Beam Decel. Mode

O

O

O

O

O

O

O

O

X = Standard, O = Option, - = nicht erhältlich

TESCAN RISE - jetzt auch mit LYRA oder GAIA FIB-REM