Robustes, vielseitig einsetzbares REM, mobil einsetzbar für schnelle und flexible Vor-Ort-Untersuchungen

 
Basierend auf dem VEGA XM

• Robust und mobil
• Aktive Schwingungsdämpfung
• Tablet PC mit EasySEM Touchscreen

Hochleistungssystem mit vielen Optionen
• SE, BSE, LVSTD, Easy EDX und mehr

Vorsprung durch durchdachtes Design
• Kompakt - alles in einem Gerät (kein Tisch etc.)
• Transportrollen für flexiblen Vor-Ort-Einsatz
• Robuste Konstruktion für Einsatz in der Industrie
• Am Gerät befestigter Tablet PC
 

XM

Kammer- Innengröße

300x330 mm (B,T)

Türbreite

280 mm

Typ

kompuzentrisch

X

130 mm mot.

Y

130 mm mot.

Z

100 mm mot.

Rotation

360° mot.

Kippung (Tilt)

-30 bis +80° mot.

Probenhöhe

145 mm max.

Mit seinem UniVac-System (sowohl Hoch- als auch Niedervakuum möglich) erlaubt das variable InduSEM Untersuchungen unterschiedlicher, auch nichtleitender Proben in unbehandeltem Zustand.
 

Typ

XMU

Auflösung
Hochvakuum-Modus
Niedervakuum-Modus

 
3,0 nm
3,5 nm

Vakuum
Hochvakuum-Modus
Niedervakuum-Modus

 
< 9*10-3 Pa
3 - 500 Pa (optional bis 2000 Pa)

Arbeitsmodi Elektronenoptik

Resolution, Depth, Field, Wide Field, Rocking Beam

Vergrößerung

3 bis 1.000.000 fach, 3 fach im Wide Field Modus

Detektoren
Standard

Option

 
SE, Strahlstrommessung, Berührungsmelder, RE

TE, EBIC, EBSD, EDX, WDX, LVSTD (bis zu 500 Pa), Chamberscope ...

Beschleunigungsspannung

200 V bis 30 kV

Kathodensystem

Wolfram-Haarnadelkathode

Strahlstrom

1 pA bis 2 µA

Vakuumsystem

Vollautomatisch, inklusive Rotationsvorpumpe und luftgekühlter Turbomolekularpumpe; Pumpzeit ca. 2-3 Minuten

Systemvoraussetzungen

230 V / 50 Hz oder 120 V / 60 Hz, 1300 VA,
kühlwasserfreies System, trockener Stickstoff 1,5 bis 5 bar,
Druckluft 4,5 bis 6 bar

Windows™ ist ein eingetragenes Warenzeichen der Microsoft Corporation USA und anderer Länder.
Wide Field Optics™ und EasySEM™ sind eingetragene Warenzeichen von TESCAN a.s.

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