Robustes, vielseitig einsetzbares REM, mobil einsetzbar für schnelle und flexible Vor-Ort-Untersuchungen

Basierend auf dem VEGA XM

Robust und mobil

Aktive Schwingungsdämpfung

Tablet PC mit EasySEM Touchscreen
 

Hochleistungssystem mit vielen Optionen

SE, BSE, LVSTD, EasySEM und mehr
 

Vorsprung durch durchdachtes Design

Kompakt - alles in einem Gerät (kein Tisch etc.)

Transportrollen für flexiblen Vor-Ort-Einsatz

Robuste Konstruktion für Einsatz in der Industrie

Am Gerät befestigter Tablet PC
 

TESCAN INDUSEM

InduSEM Kammer

XM

Kammer

300 x 330 mm (B,T)

Türbreite

280 mm

Typ

kompuzentrisch

X

130 mm mot.

Y

130 mm mot.

Z

100 mm mot.

Rotation

360° mot.

Kippung (Tilt)

-30 bis +90° mot.

Probenhöhe

145 mm max.

Mit seinem UniVac-System
(sowohl Hoch- als auch Niedervakuum möglich) erlaubt das variable InduSEM Untersuchungen unterschiedlicher, auch nichtleitender Proben in unbehandeltem Zustand.

EasySEM Software

TESCAN InduSEM REM Spezifikationen

Vakuumtyp

XMU

 

Auflösung

 

Hochvakuum-Modus

3,0 nm

Niedervakuum-Modus

3,5 nm

 

Vakuum

 

Hochvakuum-Modus

< 9*10-3 Pa

Niedervakuum-Modus

3 - 500 Pa (Mediumvakuum: 3 - 150 Pa)

Arbeitsmodi Elektronenoptik

Resolution, Depth, Field, Wide Field, Channelling

Vergrößerung

3 bis 1.000.000 fach, 3 fach im Wide Field Modus

Standard Detektoren

SE, Strahlstrommessung, Berührungsmelder, RE

Optionale Detektoren

TE, EBIC, EBSD, EDX, WDX, LVSTD (bis zu 500 Pa), Chamberscope ...

Beschleunigungsspannung

200 V bis 30 kV

Kathodensystem

Wolfram-Haarnadelkathode

Strahlstrom

1 pA bis 2 µA

Systemvoraussetzungen

230 V / 50 Hz or 120 V / 60 Hz, 1300 VA,
kühlwasserfreies System

Windows™ ist ein eingetragenes Warenzeichen der Microsoft Corporation USA und anderer Länder.
Wide Field Optics™ und EasySEM™ sind eingetragene Warenzeichen von TESCAN a.s.

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