Tescan FIB Focused Ion Beam / Dual Beam REM Rasterelektronenmikroskop Focused-Ion-Beam FE-REM Mit der LYRA FEG bietet Tescan ein neues hochauflösendes Schottky FE-REM mit integriertem Focused-Ion-Beam (FIB).   Wichtigste Merkmale des neuen LYRA FEG: • Einzigartige Gallium (oder AuSi) Focused-Ion-Beam Säule für äußerst geringe Ionenstreuung • Motorisierter Blendenwechsler und Beam Blanker • Gas Injection System (GIS) mit fünf unabhängigen Kapillaren und automatischer Positionierung • Electron Beam mit spezieller Tescan Wide Field Optics™ für verschiedenste Arbeits- und Darstellungsmodi • Niedervakuum Option für die Untersuchung nicht leitender Proben   XM Kammer- Innengröße 300x330 mm (B,T) Türbreite 280 mm Typ kompuzentrisch X 130 mm mot. Y 130 mm mot. Z 100 mm mot. Rotation 360° mot. Tilt -20 bis +90° mot. Probenhöhe 137 mm max.   FE-REM FIB Kathodensystem FE-Kathode Ga- (oder AuSi) Flüssigmetall Ionenquelle Auflösung 1,2 nm bei 30 KV < 5 nm bei 30 kV (< 15 nm bei AuSi) Vakuum HiVac: < 1 x 10-2 Pa UniVac Option: < 1 x 10-2 Pa 7-150 Pa HiVac: < 1 x 10-2 Pa Arbeitsmodi Resolution, Depth, Field, Wide Field, Rocking Beam, E-Beam*, 3D Live Stereo, Lithografie Abbildung, SEM-FIB Simultanabbildung, Ätzen, Polieren, selektives Ätzen, I-Beam* Vergrößerung 3 bis 1.000.000 fach, 3 fach im Wide Field Modus 150 bis 1.000.000 fach, Beschleunigungsspannung 200 V bis 30 kV 1 kV bis 5 kV und 10 kV bis 30 kV Strahlstrom 2 pA bis 100 nA 1 pA bis 20 nA (bis 15 nA bei AuSi) Vakuumsystem REM Vollautomatisch, inklusive Rotationsvorpumpe und luftgekühlter Turbomolekularpumpe; abgesichert gegen Stromausfall; Pumpzeit ca. 2-3 Minuten Systemvoraussetzungen 230 V / 50 Hz oder 120 V / 60 Hz, 2300 VA, kühlwasserfreies System, Trockener Stickstoff 1,5 bis 5 bar, Druckluft 4,5 bis 6 bar, minimale Aufstellfläche 3,5 x 3 m * Option GIS-System wird zum Materialauttrag benötigt! Wide Field Optics™ und In-Flight Beam Tracing™ sind eingetragene Warenzeichen von Tescan, a.s. Windows™ ist ein eingetragenes Warenzeichen der Microsoft Corporation USA und anderer Länder. Wünschen Sie weitere Informationen oder eine Gerätedemonstration? Wir stehen Ihnen gerne zur Verfügung!