Tescan FIB Focused Ion Beam Rasterelektronenmikroskop Focused-Ion-Beam FE-REM Mit der LYRA FEG bietet Tescan ein neues hochauflösendes Schottky FE-REM mit integriertem Focused-Ion-Beam (FIB).   Wichtigste Merkmale des neuen LYRA FEG: Einzigartige Gallium (oder AuSi) Focused-Ion-Beam Säule für äußerst geringe Ionenstreuung Motorisierter Blendenwechsler und Beam Blanker Gas Injection System (GIS) mit fünf unabhängigen Kapillaren und automatischer Positionierung Electron Beam mit spezieller Tescan Wide Field Optics™ für verschiedenste Arbeits- und Darstellungsmodi Niedervakuum Option für die Untersuchung nicht leitender Proben   TESCAN LYRA Kammer Spezifikationen XM GM Kammerinnengröße 285 x 340 mm (B,T) 340 x 310 mm (B,T) Türmaße 285 x 320 mm (B,H) 340 x 320 mm (B,H) Typ kompuzentrisch kompuzentrisch X 130 mm mot. 130 mm mot. Y 130 mm mot. 130 mm mot. Z 100 mm mot. 100 mm mot. Rotation 360° mot. 360° mot. Kippung (Tilt) -30 bis +90° mot. -30 bis +90° mot. Probenhöhe 139 mm max. 139 mm max. Ports 12+ 20+ TESCAN LYRA FE-FIB-REM Spezifikationen Kammer & Vakuum XMH / XMU / GMH / GMU Säule SEM FIB Kathodensystem FE-Kathode Ga- (oder AuSi) Flüssigmetall Ionenquelle Auflösung 1,2 nm bei 30 KV < 2,5 nm bei 30 kV (Cobra) < 5 nm bei 30 kV (Canion) (< 15 nm bei AuSi)   Vacuum     FIB Gun  — < 5*10-6 Pa Hochvakuum Modus < 9*10-3 Pa  — Niedervakuum Modus (nur bei U-Variante) 7-150 Pa  — Arbeitsmodi Resolution, Depth, Field, Wide Field, Channelling, E-Beam*, 3D Live Stereo, Lithografie Abbildung, REM-FIB Simultanabbildung, I-Beam*, Ätzen, selektives Ätzen, Polieren Vergrößerung 2 bis 1.000.000 fach 150 bis 1.000.000 fach Beschleunigungsspannung 200 V bis 30 kV 500 V bis 30 kV Strahlstrom 2 pA bis 100 nA 1 pA bis 40 nA (bis 15 nA bei AuSi) Systemvoraussetzungen 230 V / 50 Hz oder 120 V / 60 Hz, 2300 VA, kühlwasserfreies System, Druckluft 4,5 bis 6 bar, Trockener Stickstoff 1,5 bis 5 bar, minimale Aufstellfläche 3,5 x 3 m * Option GIS-System wird zum Materialauttrag benötigt! Wide Field Optics™ und In-Flight Beam Tracing™ sind eingetragene Warenzeichen von Tescan, a.s. Windows™ ist ein eingetragenes Warenzeichen der Microsoft Corporation USA und anderer Länder. auch mit multifunktionaler TESCAN GM Probenkammer erhältlich Wünschen Sie weitere Informationen oder eine Gerätedemonstration? Wir stehen Ihnen gerne zur Verfügung!