Tescan FIB Focused Ion Beam / Dual Beam REM Rasterelektronenmikroskop

GM-Kammer: 20 Ports und unzählige Möglichkeiten

 
Die GM Probenkammer mit ihren zwanzig Ports ist modular aufgebaut.
Auf diese Weise erlaubt die Kammer die Kombination verschiedener Säulen (ink. Dual-GIS), Analysensysteme, Manipulatoren und Zusatzgeräte.
Die GM-Probenkammer ist erhältlich für alle FIB-REM bzw. PFIB-REM Modelle.
 

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REM + FIB + PFIB + GIS + SPM + EDX + EBSD + TOF-SIMS

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Alles in einem Gerät (siehe Lyra)

• REM

Rasterelektronenmikroskop
(Scanning Electron Microscope)

• FIB

Fokussierter Ionenstrahl
(Focused-Ion-Beam)

• SPM

Rastersondenmikroskop
(Scanning Probe Microscope)

• TOF-SIMS

Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometrie
(Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)

• EDX

Energiedispersive Röntgenspektroskopie
(Energy Dispersive X-Ray Analysis)

• EBSD

Kristallgitterbeugung rückgestreuter Elektronen
(Electron Back Scattered Diffraction)

• EBIC

Elektronenstrahl-induzierter Strom
(Electron Beam Induced Current)

• SE

Sekundärelektronen
(Secondary Electrons)

• BSE

Rückstreuelektronen
(BSE - Backscattered Electrons)

• +++

Nanomanipulation, Nano-Kathodolumineszenz, GIS, WDX und mehr

GM Kammer, seitlich von hinten
TOF-SIMS
SPM

erhältlich für
VELA / LYRA / FERA

Wünschen Sie weitere Informationen oder eine Gerätedemonstration?
Wir stehen Ihnen gerne zur Verfügung!