| | | | Tescan FIB Focused Ion Rasterelektronenmikroskop |
| | | Focused-Ion-Beam W-REM | Mit dem VELA FIB-REM bietet Tescan ein Hochleistungs-Focused-Ion-Beam REM mit Wolfram-Haarnadelkathode. Wichtigste Merkmale der neuen VELA FIB-REM: | 
| Einzigartige Gallium (oder AuSi) Focused-Ion-Beam Säule für äußerst geringe Ionenstreuung | 
| Motorisierter Blendenwechsler und Beam Blanker | 
| Gas Injection System (GIS) mit fünf unabhängigen Kapillaren und automatischer Positionierung | 
| Electron Beam mit spezieller Tescan Wide Field Optics für verschiedenste Arbeits- und Darstellungsmodi | 
| Niedervakuum Option für die Untersuchung nicht leitender Proben |
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| TESCAN VELA Kammer Spezifikationen |
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| XM | GM | Kammerinnengröße | 285 x 340 mm (B,T) | 340 x 310 mm (B,T) | Türmaße | 285 x 320 mm (B,H) | 340 x 320 mm (B,H) | Typ | kompuzentrisch | kompuzentrisch | X | 130 mm mot. | 130 mm mot. | Y | 130 mm mot. | 130 mm mot. | Z | 100 mm mot. | 100 mm mot. | Rotation | 360° mot. | 360° mot. | Kippung (Tilt) | -30 bis +90° mot. | -30 bis +90° mot. | Probenhöhe | 139 mm max. | 139 mm max. | Ports | 12+ | 20+ |
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| | | TESCAN VELA W-FIB-REM Spezifikationen | Kammer & Vakuum | XMH / XMU / GMH / GMU | Säule | SEM | FIB | Kathodensystem | Wolfram Kathode | Ga- (oder AuSi) Flüssigmetall Ionenquelle | Auflösung | 3,5 nm bei 30 KV | < 2,5 nm bei 30 kV (Cobra) < 5 nm bei 30 kV (Canion) | | Vacuum | | | FIB Gun | — | < 5*10-6 Pa | Hochvakuum Modus | < 9*10-3 Pa | — | Niedervakuum Modus (nur bei U-Variante) | 7-500 Pa (7-150 Pa) | — | Arbeitsmodi | Resolution, Depth, Field, Wide Field, Channelling, E-Beam*, 3D Live Stereo, Lithografie | Abbildung, REM-FIB Simultanabbildung, I-Beam*, Ätzen, selektives Ätzen, Polieren | Vergrößerung | 2 bis 1.000.000 fach | 150 bis 1.000.000 fach | Beschleunigungsspannung | 200 V bis 30 kV | 500 V bis 30 kV | Strahlstrom | 1 pA bis 2 µA | 1 pA bis 40 nA | Systemvoraussetzungen | 230 V / 50 Hz oder 120 V / 60 Hz, 2300 VA, kühlwasserfreies System, Druckluft 4,5 bis 6 bar, Trockener Stickstoff 1,5 bis 5 bar, minimale Aufstellfläche 3,5 x 3 m |
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| | * Option GIS-System wird zum Materialauttrag benötigt! | | | Wide Field Optics und In-Flight Beam Tracing sind eingetragene Warenzeichen von Tescan, a.s. Windows ist ein eingetragenes Warenzeichen der Microsoft Corporation USA und anderer Länder. | | | | | | Wünschen Sie weitere Informationen oder eine Gerätedemonstration? Wir stehen Ihnen gerne zur Verfügung! |
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