VELA Focused Ion Beam W-REM

Tescan FIB Focused Ion Beam / Dual Beam REM Rasterelektronenmikroskop

Focused-Ion-Beam REM

Mit dem VELA FIB-REM bietet Tescan
ein Hochleistungs-Focused-Ion-Beam REM
mit Wolfram-Haarnadelkathode.
 
Wichtigste Merkmale der neuen VELA FIB-REM:

Einzigartige Gallium (oder AuSi) Focused-Ion-Beam Säule für äußerst geringe Ionenstreuung

Motorisierter Blendenwechsler und Beam Blanker

Gas Injection System (GIS) mit fünf unabhängigen Kapillaren und automatischer Positionierung

Electron Beam mit spezieller Tescan Wide Field Optics™ für verschiedenste Arbeits- und Darstellungsmodi

Niedervakuum Option für die Untersuchung nicht leitender Proben
 

XM

Kammer- Innengröße

300x330 mm (B,T)

Türbreite

280 mm

Typ

kompuzentrisch

X

130 mm mot.

Y

130 mm mot.

Z

100 mm mot.

Rotation

360° mot.

Tilt

-20 bis +90° mot.

Probenhöhe

137 mm max.

 

 

REM

FIB

Kathodensystem

Wolfram Kathode

Ga-Flüssigmetall Ionenquelle

Auflösung

3,5 nm bei 30 KV

< 5 nm bei 30 kV

Vakuum

HiVac: < 1 x 10-2 Pa
UniVac Option:
< 1 x 10-2 Pa
3-150 Pa / 3-500 Pa

HiVac: < 1 x 10-2 Pa

Arbeitsmodi

Resolution, Depth, Field, Wide Field, Rocking Beam, E-Beam*, 3D Live Stereo, Lithografie

Abbildung, REM-FIB Simultanabbildung, Ätzen, Polieren, selektives Ätzen, I-Beam*

Vergrößerung

3 bis 1.000.000 fach,
3 fach im Wide Field Modus

150 bis 1.000.000 fach,

Beschleunigungsspannung

200 V bis 30 kV

1 kV bis 5 kV und
10 kV bis 30 kV

Strahlstrom

1 pA bis 2 µA

2 pA bis 20 nA

Vakuumsystem
REM

Vollautomatisch, inklusive Rotationsvorpumpe und luftgekühlter Turbomolekularpumpe; abgesichert gegen Stromausfall; Pumpzeit ca. 2-3 Minuten

Systemvoraussetzungen

230 V / 50 Hz oder 120 V / 60 Hz, 2300 VA,
kühlwasserfreies System, Trockener Stickstoff 1,5 bis 5 bar, Druckluft 4,5 bis 6 bar, minimale Aufstellfläche 3,5 x 3 m

* Option GIS-System wird zum Materialauttrag benötigt!
Wide Field Optics™ und In-Flight Beam Tracing™ sind eingetragene Warenzeichen von Tescan, a.s.
Windows™ ist ein eingetragenes Warenzeichen der Microsoft Corporation USA und anderer Länder.

Wünschen Sie weitere Informationen oder eine Gerätedemonstration?
Wir stehen Ihnen gerne zur Verfügung!