| | | | | hochauflösende Schottky FE-REM |
| Tescan stellt mit den MIRA REM seine neue Serie von Hochleistungs-FE-REM mit einem Schottky-Feldemissions-Kathodensystem vor.
Wichtigste Merkmale der neuen MIRA FE-REM: |
• | Schottky Emitter mit hoher Effizienz für brillante, hochauflösende und rauscharme Bilder, sowie hohem Strahlstrom für analytische Aufgaben | • | Einzigartige 3-Linsen-Elektronenoptik (»Wide Field Optics™«), mit spezieller Tescan-Zwischenlinse zur Optimierung der Strahl-Apertur für verschiedenste Arbeits- und Darstellungsmodi | • | Echtzeit-Strahloptimierung (»In-Flight Beam Tracing™«) für bestmögliche Abbildungs- und Analyseeigenschaften, unter Einbeziehung der anerkannten Software »Electron Optical Design« | • | 3D-Live-Stereo erlaubt einzigartige Ansichten |
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• | In-Beam-Sekundärelektronen-Detektor für Höchstauflösung | • | Ausgezeichnete analytische Möglichkeiten; bis zu 11 Kammerflansche mit optimierter analytischer Geometrie erlauben die gleichzeitige Adaption von EDX, WDX und EBSD | • | Vollautomatisierte Gerätevoreinstellung und -optimierung, inklusive Einstellung und Strahloptimierung der Elektronenoptik | • | Hervorragendes Preis- / Leistungsverhältnis
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Aus verschiedenen Varianten, Kammertypen und Komponenten lässt sich ein für Sie und Ihr Budget optimal passendes REM zusammenstellen.
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| LM | XM | | zur Vergrößerung Maus über Bild | zur Vergrößerung Maus über Bild | Kammerinnengröße | Ø 230 mm | 300x330 mm (B,T) | Türbreite | 148 mm | 280 mm | Typ | kompuzentrisch | kompuzentrisch | X | 80 mm mot. | 130 mm mot. | Y | 60 mm mot. | 130 mm mot. | Z | 47 mm mot. | 100 mm mot. | Rotation | 360° mot. | 360° mot. | Kippung (Tilt) | -80 bis +80° mot. | -30 bis +90° mot. | Probenhöhe | 81 mm max. | 145 mm max. |
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| Kammertyp | LM-, XM- | Typ | H | U | Auflösung
Hochvakuum-Modus (In-Beam SE)
Niedervakuum-Modus (LVSTD) |
1 nm bei 30 kV
1,2 nm bei 15 kV
2 nm bei 3 kV
3,5 nm bei 1 kV
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1 nm bei 30 kV
1,2 nm bei 15 kV
2 nm bei 3 kV
3,5 nm bei 1 kV
1,5 nm bei 30 kV | Vakuum
Hochvakuum-Modus (Kammer)
Niedervakuum-Modus (Kammer) |
< 9 x 10-3 Pa
- |
< 9 x 10-3 Pa
7 - 150 Pa | Arbeitsmodi Elektronenoptik | Resolution, Depth, Field, Wide Field, Rocking Beam | Vergrößerung | 3 bis 1.000.000 fach, 3 fach im Wide Field Modus | Beschleunigungsspannung | 200 V bis 30 kV | Kathodensystem | Feldemission (Schottky Emitter) | Strahlstrom | 2 pA bis 100 nA | Vakuumsystem | Vollautomatisch, inklusive Rotationsvorpumpe und luftgekühlter Turbomolekularpumpe; abgesichert gegen Stromausfall; Pumpzeit ca. 2-3 Minuten | Systemvoraussetzungen | 230 V / 50 Hz oder 120 V / 60 Hz, 1300 VA,
kühlwasserfreies System, trockener Stickstoff 1,5 bis 5 bar,
Druckluft 4,5 bis 6 bar, minimale Aufstellfläche 3 x 3 m (Geräteabmaße ca. 2,20 x 1,25 m) |
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| Wide Field Optics™ und In-Flight Beam Tracing™ sind eingetragene Warenzeichen von Tescan, a.s.
Windows™ ist ein eingetragenes Warenzeichen der Microsoft Corporation USA und anderer Länder.
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