TESCAN MIRA LM - Bild vergößern

hochauflösende Schottky FE-REM

TESCAN stellt mit den MIRA REM seine neue Serie von Hochleistungs-FE-REM mit einem Schottky-Feldemissions-Kathodensystem vor.

Wichtigste Merkmale der MIRA FE-REM

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Schottky Emitter mit hoher Effizienz für brillante, hochauflösende und rauscharme Bilder, sowie hohem Strahlstrom für analytische Aufgaben

Einzigartige 3-Linsen-Elektronenoptik (»Wide Field Optics™«), mit spezieller Tescan-Zwischenlinse zur Optimierung der Strahl-Apertur für verschiedenste Arbeits- und Darstellungsmodi

Echtzeit-Strahloptimierung (»In-Flight Beam Tracing™«) für bestmögliche Abbildungs- und Analyseeigenschaften, unter Einbeziehung der anerkannten Software »Electron Optical Design«

3D-Live-Stereo erlaubt einzigartige Ansichten

In-Beam-Sekundärelektronen-Detektor für Höchstauflösung

Ausgezeichnete analytische Möglichkeiten; bis zu 20 Kammerflansche mit optimierter analytischer Geometrie erlauben die gleichzeitige Adaption von EDX, WDX und EBSD

Vollautomatisierte Gerätevoreinstellung und -optimierung, inklusive Einstellung und Strahloptimierung der Elektronenoptik

Hervorragendes Preis- / Leistungsverhältnis

Aus verschiedenen Varianten, Kammertypen und Komponenten lässt sich ein für Ihre Anforderungen und Ihr Budget optimal passendes REM zusammenstellen.

TESCAN MIRA Kammer Spezifikationen

LM

XM

Kammerinnengröße

Ø 230 mm

285 x 340 mm (B,T)

Türbreite

148 mm

285 x 320 mm (B,H)

Typ

kompuzentrisch

kompuzentrisch

X

80 mm mot.

130 mm mot.

Y

60 mm mot.

130 mm mot.

Z

47mm mot.

100 mm mot.

Rotation

360° mot.

360° mot.

Kippung (Tilt)

-80 bis +80° mot.

-30 bis +90° mot.

Probenhöhe

81 mm max.

145 mm max.

MIRA REM sind auch erhältlich mit spezieller GM Multi-Port-Kammer

TESCAN MIRA LMTESCAN MIRA XMTESCAN MIRA GM

TESCAN MIRA REM Spezifikationen

Kammertyp

LM- / XM-

Vakuumtyp

H

U

 

Auflösung

 

 

Hochvakuum-Modus
(In-Beam SE)

1 nm bei 30 kV
1,2 nm bei 15 kV
2 nm bei 3 kV
3,5 nm bei 1 kV

1 nm bei 30 kV
1,2 nm bei 15 kV
2 nm bei 3 kV
3,5 nm bei 1 kV

Niedervakuum-Modus
(LVSTD)

 —

1,5 nm bei 30 kV

 

Vakuum

 

 

Hochvakuum-Modus

< 9*10-3 Pa

< 9*10-3 Pa

Niedervakuum-Modus

 —

7 - 150 Pa

Arbeitsmodi Elektronenoptik

Resolution, Depth, Field, Wide Field, Channelling

Vergrößerung

ca. 2 bis 1.000.000 fach (je nach Kammermodell)

Beschleunigungsspannung

200 V bis 30 kV

Kathodensystem

Feldemission (Schottky Emitter)

Strahlstrom

1 pA bis 100 nA

Vakuumsystem

Vollautomatisch, inklusive Rotationsvorpumpe und luftgekühlter Turbomolekularpumpe; abgesichert gegen Stromausfall; Pumpzeit ca. 2-3 Minuten

Systemvoraussetzungen

230 V / 50 Hz oder 120 V / 60 Hz, 1300 VA,
kühlwasserfreies System, Druckluft 4,5 bis 6 bar, trockener Stickstoff 1,5 bis 5 bar, minimale Aufstellfläche 3 x 3 m (Gerät ca. 2,20 x 1,25 m)

Wide Field Optics™ und In-Flight Beam Tracing™ sind eingetragene Warenzeichen von Tescan, a.s.
Windows™ ist ein eingetragenes Warenzeichen der Microsoft Corporation USA und anderer Länder.
 

TESCAN TRACE GSR

Die TESCAN MIRA REM sind, ebenso wie die TESCAN VEGA REM auch als “TRACE GSR” Modelle mit integriertem EDX-System und Software zur GSR-Analyse erhältlich.
 
Nähere Einzelheiten finden Sie hier.

 

 
Wünschen Sie weitere Informationen oder eine Gerätedemonstration?

Wir stehen Ihnen gerne zur Verfügung!

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