MIRA In Beam Die neue Generation der MIRA Serie beinhaltet neben dem Standard-Sekundärelektronen-Detektor einen In-Beam-Sekundärelektronen- Detektor. Durch seine Position innerhalb der Objektivlinse, ermöglicht der In-Beam- Detektor auch bei sehr kurzen Arbeitsabständen die Abbildung von SE- Elektronen ohne Signalverlust. Vorteile gegenüber einem Standard-SE-Detektor: • Arbeiten mit sehr geringem Arbeitsabstand möglich • Hohe Auflösung, auch bei niedrigen Beschleunigungsspannungen • Geringeres Wechselwirkungsvolumen, d.h. hohe Auflösung