Nachdem das Prozess-Gas angeschlossen ist, können alle relevanten Prozessparameter wie Druck, Plasmastrom und Prozesszeit vom Anwender voreingestellt werden. Bei Geräten mit zwei Gaszuleitungen kann auch die Prozessgaszusammensetzung reguliert werden. Der Plasmaprozess wird vollautomatisch vom Mikro-Computer gestartet und überwacht. Optional stehen beim Betrieb mit zwei Prozessgasen auch Massflow-Controller zur Aus- wahl, welche eine reproduzierbare Einstellung des Prozessgasgemischs gewährleisten. |