Die Probenaufnahme hat einen Durchmesser von 100 mm. Auf dem Innenkreis können bis zu acht 0,5" (12,5 mm) Probenteller platziert werden. Auf dem äußeren Kreis darf der Durchmesser für weitere bis zu acht Teller je 1" (25 mm) betragen. Die Probenaufnahme kann optional mit einem Distanzring ausgestattet werden. Dies ermöglicht, wegen des kurzen Arbeitsabstands, einfaches Arbeiten mit sehr flachen Proben. Für die REM der TESCAN VEGA\\ Serie besteht zudem die Möglichkeit, das Tischlayout in der Tischsteuerung so anzupassen, dass jede Probenposition mit einem Mausklick angefahren werden kann.
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