SC 20 FAST zusätzliche Variante des bewährten SC 20 Magnetfeldkompensationsgeräts.
Es wurde optimiert, um hochfrequente Störfelder bis zu 10 kHz - wie sie beispielsweise an Fertigungsstraßen in der Chipherstellung beim automatisierten Transport von 300 mm Wafern entstehen - um einen Faktor > 10 zu verringern. |