Die Probenschleuse ist eine optionale Erweiterung der TESCAN Rasterelektronenmikroskope. Es ermöglicht einen extrem schnellen Probenwechsel ohne die Probenkammer zu belüften. Die Probenschleuse ist in das automatische Vakuumsystem des TESCAN REM voll integriert. Die Hauptkammer des REM bleibt während der Bestückung des Probenhalters evakuiert.
Anwendungsbeispiele: Die Probenschleuse findet zum Beispiel Anwendung bei Applikationen, bei denen die Zeit des Probenwechsels auf ein Minimum reduziert werden soll oder kein signifikanter Vakuumverlust während des Probenwechsels stattfinden darf (z.B. bei FIB-REM).
a) Die Proben werden in der ausfahrbaren Probenschleuse beladen b) Die Schleuse wird innerhalb von ca. 15 Sekunden evakuiert c) Die Schleuse wird geöffnet, der Probenhalter auf dem Probentisch angebracht
Alle TESCAN Rasterelektronenmikroskope sind mit einer starken Vakuumpumpe ausgestattet. Bereits ohne Probenschleuse beträgt die Pumpzeit je nach Kammergröße maximal zwei bis drei Minuten.
