Technoorg Linda

Technoorg Gentle Mill
Ion Beam Workstations zur Herstellung
hochqualitativer (S)TEM- / FIB-Proben

 
Eliminiert Oberflächenschäden, verursacht durch hochenergetische Ionenstrahlen (beispielsweise FIB-REM). Erfassung der realen Kristallstruktur, statt Artefakten auf REM- und TEM-Proben, mit Hilfe des einzigartigen Technoorg "Endpolishers".

 Schnelle, zuverlässige und einfache Bedienung
 Zum Säubern, Optimieren und Nachbearbeiten von TEM- und FIB-Proben
 Manuelle (IV5) oder weitgehend automatisierte (IV8) Version erhältlich
 Eingebauter PC mit benutzerfreundlicher Bedienoberfläche
 

Niederenergetische Ionenätzer für die Endpolitur
Technoorgs Gentle Mill™ "Ion Beam Workstations" ("Ionenpolierer" / "Ionenätzer") sind mit einer patentierten niederenergetischen "Hot-Cathode Low-Energy" Ionenquelle ausgestattet.
Die ganz oder teilweise computergesteuerten Systeme sind zur hochqualitativen Endpolitur und Endreinigung von Proben für TEM, XTEM, HRTEM, STEM und FIB entworfen worden, die vorher mit hochenergetischen Ionenätzern oder FIB-Säulen behandelt wurden. Ist die Herstellung und Analyse hochqualitativer Proben erforderlich, sind die Gentle Mill™ Workstations eine optimale Ergänzung zu bereits vorhandenen, konventionellen Probenpräparationssystemen.
Das zweite Haupteinsatzgebiet der Gentle Mill™ Workstations ist die hochqualitative Oberflächenreinigung und Oberflächenoptimierung von REM-Proben für EBSD- oder IOM-Untersuchungen.
Bei der neuesten Version, der Gentle Mill™3, handelt es sich um ein vollautomatisiertes, einfach zu bedienendes Gerätesystem, zur schnellen Probenpräparation.
 
Alle Gentle Mill™ Systeme arbeiten in einem Energiebereich von 150 eV bis 2 keV. Dadurch sind sie geeignet, gedimpelte oder mechanisch planar polierte Proben unter 25 µm weiter abzutragen.
 

Gentle Mill™3
Die Gentle Mill™3 stellt bereits die dritte Generation der Technoorg "Ion Beam Workstations" dar. Mit ihrer automatisierten Ionenquelleneinstellung, der Gasdurchflusskontrolle über ein computergesteuertes Nadelventil, einfach zu bedienende Benutzeroberfläche und Voreinstellungen für diverse Abläufe, ist die Gentle Mill™3 das optimale Werkzeug für vollautomatische und hochqualitative TEM-Probenpräparation.
Die Gentle Mill™3 verfügt über eine hochauflösende CCD-Farbkamera mit manuellem Zoom (50-400fach) für die Abtragungsüberwachung sowie automatische Endabschaltung durch Perforationserkennung oder Überwachung der Oberflächentopographie.
Neben den voreingestellzen Abtragungs- oder Polierzyklen kann die Gentle Mill™3 auch manuell betrieben werden.

 Modell

Gentle Mill™ (IV5)

Gentle Mill™3 (IV8)

Bedienung

manuell

automatisiert (oder manuell)

Gasfluss-
regulierung

manuell einstellbares Nadelventil ermöglicht die Optimierung der Ionenquelle

motorisiertes Nadelventil zur automatischen Optimierung der Ionenquelle

Abtragungs-
parameter

manuelle Einstellung wie Auftreffpunkt Ionenstrahl, Geschwindigkeit, Oszillationswinkel

mehrere Presets für die automatische Einstellung der Abtragungsparameter
(manuelle Einstellung möglich)

Abbildung

CCD-Kamera mit fester Vergrößerung

hochauflösende CCD-Farbkamera mit manueller Zoom-Videolinse für 50 bis 400 fache Vergrößerung

Endab-
schaltung

 eingebauter Timer zur Beendigung des Abtragungsvorgangs

 optisch gesteuerte Beendigung des Abtragungsvorgangs durch Bildanalysemodul

Spezial-
probenhalter

nicht verfügbar

• Ionenstrahl Böschungsätzen
• Endpolitur von EBSD-Proben

Gentle Mill™3
Spezialprobenhalter für
Endpolitur (EBSD, OIM etc.) und Böschungsätzen (Slope Cutting)

Slope CuttingFinal Polishing

 Spezifikationen

Gentle Mill™ (IV5) und Gentle Mill™3 (IV8)

Ionenquelle

Patentierte "Hot-Cathode Low-Energy Ion Gun"

Beschleunigungsspannung

150 eV - 2000 eV

Strahldurchmesser

750 - 1200 µm (FWHM)

Strahlstrom

7 - 90 µA

Abtragswinkel

0° - 45°, einstellbar in 0,1° Schritten

Probenhalter

Titanhalter, für TEM-Proben von 40 - 200 µm Dicke

Probenwechsel

Probenschleuse, Wechsel weniger als eine Minute

Rotationsgeschwindigkeit

Stufenlos einstellbar von 1 bis 6 U/min

Vakuumsystem

Ölfreies Vakuumsystem, Vorvakuumpumpe und Turbomolekularpumpe mit Pirani- und Penning-Messung

Kühlsystem

Geschlossener Kühlkreislauf mit "intelligentem" Wärmemanagement Konzept, benötigt 1,5 Liter destilliertes oder entionisiertes Wasser

Gasversorgung

Argon 5.0 (99,999%) oder andere Edelgase
(1,4 bis 1,7 bar absoluter Druck)

 
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