Böschungsätzen • Oberflächenoptimierung Qualitätsverbesserung von FIB-REM Proben für (S)TEM Neben anderen Methoden werden auch FIB-REM Systeme oft zur Herstellung von Cross Section TEM-Lamellen eingesetzt. Gegenüber anderen Methoden haben FIB-REM den Vorteil hoher Präzision bei der Zielpräparation spezifischer Strukturmerkmale sowie einen recht hohen Probendurchsatz. Trotzdem können durch die relativ hohe Energie und die schweren Gallium-Ionen beschädigte Schichten hinterlassen werden (amorph oder kontaminiert). Die Technoorgs Workstaions dienen zur Reinigung und Endpolitur von FIB-Proben. Durch den flachen Einfallwinkel und den mit Niedrigenergie aufgebrachten Argon-Ionenstrahl, sind die Systeme bestens dazu geeignet, von FIB-REM bei der Lamellenherstellung beschädigte Schichten zu entfernen. Zudem eignen sich die Technoorg Ionenätzer hervorragend zur Verringerung der Probendicke. So können TEM-Proben erzeugt werden, die für hochqualitative Analysen und Untersuchungen in (S)TEM, HRTEM, HRSTEM (EELS, EDX) geeignet sind.   Niederenergetisches Ionenätzen Die nachträgliche Bearbeitung von Proben diverser FIB-Quellen durch die Technoorg Workstations reduziert drastisch die Dicke bzw. Breite beschädigter oder amorpher Layer. Dadurch ist es nach der Behandlung sogar möglich, 65 nm Knotenpunkte von Halbleiterbausteinen auf Atomebene strukturell zu analysieren. Ionenstrahl-Böschungsabtrag (Ion Beam Slope Cutting)   Zur Erzeugung ebener Querschnitte/-schliffe für REM-Bilderzeugung und -Mikroanalyse an Festkörpern mit unterschiedlicher Qualität   Schnittprobe eines verzinkten Stahlblechs, präpariert durch Ionenstrahl-Böschungsabtrag, Schnitt durch die oberflächennahe Schicht   Endpolitur (Final Polishing)   Probenpräparation für die Untersuchung der Kristallgitterbeugung rückgestreuter Elektronen (Electron Back Scatter Diffraction EBSD) und Bildanalyse der Kristallorientierung von Mikrostrukturen (Orientation Imaging Microscopy - OIM). Optimale Pattern-Qualität durch die Beseitigung von Deformationen, Beschädigungen und Kontamination.   EBSD-Pattern einer Kupferprobe Polinvertierte Darstellung (Inverse Pole Figure - IPF) der gleichen Probe   Wünschen Sie weitere Informationen? Wir stehen Ihnen gerne zur Verfügung!