Rasterelektronenmikroskop SM 510 (Gerät ähnlich Abbildung) Elektronenoptisches System Beschleunigungsspannung 500 V - 30,0 kV in 0,1 bzw 1 kV-Schritten einstellbar Auflösung 4 nm bei WD 5 mm, SE-Abbildung bei 30 kV, Gold auf Kohle Elektronenkanone W-Kathodensystem (vorzentriert), Auto-Emission mit Memory Sondenstrom 1pA bis 1µA Linsensystem 3 Kondensor-Linsen mit hochauflösender konischer Objektivlinse; Auto-Beam-System (CPU-gesteuert) Automatikfunktionen CPU-gesteuert (auch manuell regelbar) Auto Gun-Alignment Auto-Beam-System Auto Astigmatismus-Korrektur Auto-Fokus Dynamik-Fokus Objektivblendenwechsler Mit Blendengrößen: 30 µm, 50 µm, 100 µm und 200 µm Ø Probentisch Probentisch 5-achsig euzentrisch (X=80mm, Y=60mm, Z, R, T) Motorsteuerung der X- und Y-Bewegung mittels Joystick (Verfahrgeschwindigkeit abhängig von der Vergrößerung) Probengröße max. 150 mm Ø Verfahrwege X: 80 mm / Y: 60 mm (motorisiert) Arbeitsabstand Z: 3 mm bis 65 mm, stufenlos Probenkippung T: -10° bis + 90°, stufenlos Probendrehung R: 360°, stufenlos Display-System Rastermodus 2 Slowscan-Modi: 10 sec / 1 sec (je 512 Zeilen/Frame) TV-Modus 625 Zeilen/Frame Reduced-Area-Modus frei positionierbar, 0.13 sec (128 Zeilen/Frame) Photoraster 40sec, 80sec, 160sec, 320sec Analyse-Modi ECP-Modus, Mikroanalyse-Modi: Spot, Line, Lineprofile, X-Ray-Image und Waveform-Monitor LED-Display Funktions- und Datendisplay für: Beschleunigungsspannung, Vergrößerung, Filmnummer (4-stellig), Spotsize Monitor 12 inch (lang nachleuchtend) Fotobildschirm 5 inch (kurz nachleuchtend), hochauflösend, 2048 Zeilen Vakuum-System und Schwingungsdämpfung System vollautomatischisches, integriertes Selbstdiagnosesystem für die Pump- und Belüftungsphase Vorvakuum Rotationspumpe 160 ltr/min Hochvakuum Öl-Diffusionspumpe (wassergekühlt), 400 ltr/sec Vakuum-Status LED-Anzeige Vibrationsdämpfung Trennung von Säule und Konsole, pneumatische Schwingungsdämpfung (mit Vorratsbehälter)     Schnittstelle RS 232