| | | | | | | | | | |  | |  | | | | | |  | | Die VEGA Serie der Firma TESCAN bietet ein breitgefächertes Angebot an kompakten, volldigitalen Rasterelektronenmikroskopen (REM) mit Wolfram- (W) oder LaB6-Kathode. Ausgestattet mit der innovativen Wide Field Optics Elektronenoptik, durchdachtem Kammerdesign und benutzerfreundlicher Bedienoberfläche sind die VEGA Rasterelektronenmikroskope ein hervorragendes und wertvolles Werkzeug in Forschung, Entwicklung, Qualitätssicherung und auf anderen Einsatzgebieten. | | | Aus folgenden Komponenten können wir Ihnen das für Ihre Bedürfnisse passende Tescan VEGA Rasterelektronenmikroskop zusammenstellen: | | | | vergrößern | | |
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| Vier Kammertypen: | - SB-, LM-, XM-Kammer oder GM-Spezialkammer | 
| Zwei Vakuumsysteme: | - Hochvakuum (H) oder - Uni-Vakuum (U) für Nieder- und Hochvakuumbetrieb | 
| Zwei Kathodensysteme: | - Wolfram- oder LaB6-Kathode | 
| Drei Tischoptionen: | - Short-, Standard- oder Extended-Table | 
| Zusatzoptionen: (bei Auslieferung oder zur späteren Nachrüstung) | - Analysensysteme / Detektoren verschiedener Hersteller - Probenaufnahmen (Standard-, Spezial- und Custom-Lösungen) - Verschiedene Bedienoberflächen und -möglichkeiten - Erweiterungsoptionen - Umfangreiches Zubehör |
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| | | | | | |  | |  | |  | | Die Rasterelektronenmikroskope der TESCAN VEGA Serie setzen mit ihrer Windows basierten, intuitiven Benutzeroberfläche neue Maßstäbe in Sachen Bedienerfreundlichkeit. Vielfältige Automationsroutinen zur Feineinstellung sowie die Automatisierung von Arbeitsabläufen erlauben dem Anwender auf einfachem Wege schnell hochqualitative Ergebnisse zu erzielen. | | |
| TESCAN VEGA Kammer Spezifikationen | |
| | | SB | LM | XM | Kammer- Innengröße | Ø 160 mm | Ø 230 mm | 285 x 340 mm (B,T) | Türbreite | 120 mm | 148 mm | 285 x 320 mm (B,H) | Typ | euzentrisch | kompuzentrisch | kompuzentrisch | X | 45 mm mot. | 80 mm mot.* | 130 mm mot. | Y | 45 mm mot. | 60 mm mot.* | 130 mm mot. | Z | 27 mm man. | 47mm mot. | 100 mm mot. | Z’ | 6 mm man. | — | — | Rotation | 360° mot. | 360° mot. | 360° mot. | Kippung (Tilt) | -90 bis +90° man. | -80 bis +80° mot. | -30 bis +90° mot. | Probenhöhe | 36 mm max. | 81 mm max. | 145 mm max. | VEGA REM sind auch erhältlich mit spezieller GM Multi-Port-Kammer |
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| * | LM-Kammer optional mit zwei weiteren X Y Konfigurationen erhältlich |
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| Die digitale Steuerung über eine netzwerkfähige PC Workstation mit TFT-Monitor und die benutzerfreundliche Software-Bedienung (Nutzerprofile und -protokolle möglich) kann per Maus & Trackball, Touchscreen (mit spezieller Bediensoftware) oder Tescan Control Panel erfolgen. Darüber hinaus verfügt die VEGA Software über eine integrierte digitale Bildbearbeitung, -vermessung und Archivierung. Neben einer soliden Grundausstattung (REM mit SE-Detektor und SCA-Probenstrom-Messgerät), steht vielfältiges Zubehör für die Optimierung der Arbeitsaufgaben zur Verfügng. |
| TESCAN VEGA REM Spezifikationen | Kammertyp | SB- / LM- / XM- | Vakuumtyp | H | U | | Auflösung | | | Hochvakuum-Modus | 3,0 nm (2,0 bei LaB6) | 3,0 nm (2,0 bei LaB6) | Niedervakuum-Modus | — | 3,5 nm (2,5 bei LaB6) | | Vakuum | | | Hochvakuum-Modus | < 9*10-3 Pa | < 9*10-3 Pa | Niedervakuum-Modus | — | 3 - 500 Pa (optional 2000 Pa) | Arbeitsmodi Elektronenoptik | Resolution, Depth, Field, Wide Field, Channelling | Vergrößerung | ca. 1,5 bis 1.000.000 fach (je nach Kammermodell) | Standard Detektoren | SE, Strahlstrommessung, Berührungsmelder | SE, Strahlstrommessung, Berührungsmelder, RE | Optionale Detektoren | RE, TE, EBIC, EBSD, EDX, WDX*, Chamberscope ... | TE, EBIC, EBSD, EDX, WDX*, LVSTD (bis 500 / 1000 Pa), Chamberscope ... | Beschleunigungsspannung | 200 V to 30 kV | Kathodensystem | Wolfram-Haarnadelkathode oder LaB6 Kathode | Strahlstrom | 1 pA bis 2 µA | Vakuumsystem | Vollautomatisch, inklusive Rotationsvorpumpe und luftgekühlter Turbomolekularpumpe; Pumpzeit ca. 2-3 Minuten | Systemvoraussetzungen | 230 V / 50 Hz oder 120 V / 60 Hz, 1300 VA, kühlwasserfreies System, Druckluft 4,5 bis 6 bar, trockener Stickstoff 1,5 bis 5 bar, minimale Aufstellfläche 3 x 3 m (Gerät ca. 2,20 x 1,20 m) |
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| | * WDX nur bei Modellen mit LM oder XM Kammer | | Windows ist ein eingetragenes Warenzeichen der Microsoft Corporation USA und anderer Länder. | | |
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