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Die VEGA Serie der Firma TESCAN bietet ein breitgefächertes Angebot an kompakten, volldigitalen Rasterelektronenmikroskopen (REM) mit Wolfram- (W) oder LaB6-Kathode.
Ausgestattet mit der innovativen Wide Field Optics™ Elektronenoptik, durchdachtem Kammerdesign und benutzerfreundlicher Bedienoberfläche sind die VEGA REM ein hervorragendes und wertvolles Werkzeug in Forschung, Entwicklung, Qualitätssicherung und auf anderen Einsatzgebieten.
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| Aus folgenden Komponenten können wir Ihnen das für Ihre Bedürfnisse
passende Tescan VEGA Rasterelektronenmikroskop zusammenstellen: |
| | | • | Drei Kammertypen: | - SB-, LM- oder XM-Kammer | • | Zwei Vakuumsysteme: | - Hochvakuum (H) oder
- Uni-Vakuum (U) für Nieder- und Hochvakuumbetrieb | • | Zwei Kathodensysteme: | - Wolfram- oder LaB6-Kathode | • | Drei Tischoptionen: | - Short-, Standard- oder Standard-Plus-Table | • | Zusatzoptionen:
(bei Auslieferung oder zur späteren Nachrüstung) | - Analysensysteme / Detektoren verschiedener Hersteller
- Probenaufnahmen (Standard-, Spezial- und Custom-Lösungen)
- Verschiedene Bedienoberflächen und -möglichkeiten
- Erweiterungsoptionen
- Umfangreiches Zubehör |
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Die Rasterelektronenmikroskope der TESCAN VEGA Serie setzen mit ihrer Windows™ basierten, intuitiven Benutzeroberfläche neue Maßstäbe in Sachen Bedienerfreundlichkeit.
Vielfältige Automationsroutinen zur Feineinstellung sowie die Automatisierung von Arbeitsabläufen erlauben dem Anwender auf einfachem Wege schnell hochqualitative Ergebnisse zu erzielen.
Die digitale Steuerung über eine netzwerkfähige PC Workstation mit TFT-Monitor und die benutzerfreundliche Software-Bedienung (Nutzerprofile und -protokolle möglich) kann per Maus & Trackball, Touchscreen (mit spezieller Bediensoftware) oder Tescan Control Panel erfolgen. Darüber hinaus verfügt die VEGA Software über eine integrierte digitale Bildbearbeitung, -vermessung und Archivierung.
Neben einer soliden Grundausstattung (REM mit SE-Detektor und SCA-Probenstrom-Messgerät), steht vielfältiges Zubehör für die Optimierung der Arbeitsaufgaben zur Verfügng. |
| Bei den Modellen der VEGA-Serie stehen drei verschiedene Kammertypen zur Auswahl:
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| SB | LM | XM | Kammer- Innengröße | Ø 160 mm | Ø 230 mm | 300x330 mm (B,T) | Türbreite | 120 mm | 148 mm | 280 mm | Typ | euzentrisch | kompuzentrisch | kompuzentrisch | X | 45 mm mot. | 80 mm mot.* | 130 mm mot. | Y | 45 mm mot. | 60 mm mot.* | 130 mm mot. | Z | 27 mm man. | 47mm mot. | 100 mm mot. | Z’ | 6 mm man. | | | Rotation | 360° mot. | 360° mot. | 360° mot. | Kippung (Tilt) | -90 bis +90° man. | -80 bis +80° mot. | -30 bis +90° mot. | Probenhöhe | 36 mm max. | 81 mm max. | 145 mm max. |
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| | | * | LM-Kammer optional mit zwei weiteren X Y Konfigurationen erhältlich
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| | | Kammertyp | SB-, LM-, XM- | Typ | H | U | Auflösung
Hochvakuum-Modus
Niedervakuum-Modus |
3,0 nm
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3,0 nm
3,5 nm | Vakuum
Hochvakuum-Modus
Niedervakuum-Modus |
< 9*10-3 Pa
- |
< 9*10-3 Pa
3 - 500 Pa (optional bis 2000 Pa) | Arbeitsmodi Elektronenoptik | Resolution, Depth, Field, Wide Field, Rocking Beam | Vergrößerung | 4 bis 1.000.000 fach, 4 fach im Wide Field Modus | Detektoren
Standard
Option |
SE, Strahlstrommessung, Berührungsmelder
RE, TE, EBIC, EBSD, EDX, WDX*, Chamberscope ... |
SE, Strahlstrommessung, Berührungsmelder, RE
TE, EBIC, EBSD, EDX, WDX*, LVSTD (bis zu 500 Pa), Chamberscope ... | Beschleunigungsspannung | 200 V bis 30 kV | Kathodensystem | Wolfram-Haarnadelkathode | Strahlstrom | 1 pA bis 2 µA | Vakuumsystem | Vollautomatisch, inklusive Rotationsvorpumpe und luftgekühlter Turbomolekularpumpe; Pumpzeit ca. 2-3 Minuten | Systemvoraussetzungen | 230 V / 50 Hz oder 120 V / 60 Hz, 1300 VA,
kühlwasserfreies System, trockener Stickstoff 1,5 bis 5 bar,
Druckluft 4,5 bis 6 bar, minimale Aufstellfläche 3 x 3 m (Geräteabmaße ca. 2,20 x 1,20 m) |
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| | | *WDX nur bei Modellen mit LM oder XM Kammer | | Windows™ ist ein eingetragenes Warenzeichen
der Microsoft Corporation USA und anderer Länder.
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