| | | |  | | | Als Neugerät oder Upgrade Ihres CamScan REM | | Das EO SCAN VEGA XL REM basiert auf von EO generalüberholten großen CamScan Probenkammern mit deren bewährt stabilen Probentischen. |
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| Die EO SCAN Rasterelektronenmikroskope werden von TESCAN mit der innovativen VEGA Elektronenoptik, Softwaresteuerung und Elektronik, sowie einem neuen Vakuumsystem ausgestattet. Damit ist das EO SCAN REM auf dem neusten Stand der Technik. Besitzer eines älteren CamScan Rasterelektronenmikroskops können ihr REM durch den Umbau zum EO SCAN modernisieren lassen. Im Normalfall erhält der Kunde das neue VEGA XL im direkten Austausch gegen sein altes CamScan REM. Es fallen also keine längeren Ausfallzeiten an. Falls der Kunde seine derzeitige Probenkammer mit Probentisch behalten möchte und auf das REM für einige Wochen verzichten kann, wird sein REM speziell für ihn umgebaut. Das EO SCAN ist auch als Neugerät eine interessante Alternative für Anwender, die bisher kein CamScan Rasterelektronenmikroskop besessen haben! |
| EO SCAN REM Spezifikationen | Kammer* | 315 x 315 x 315 mm mit 30° Abnahmewinkel*, 10 freie Flansche, Einblickfenster, automatische Innenbeleuchtung durch LED | Probentisch* | Euzentrischer Goniometertisch, motorisiert in X = 100 mm und Y = 50 mm*, Z = 60 mm, Z’ = 10 mm, R = 360° kontinuierlich - motorisiert, Kippwinkel = -5° bis +90°, max. Probenhöhe = 80 mm | Kammertyp | XL- | Vakuumtyp | H | U | | Auflösung | | | Hochvakuum-Modus | 3,0 nm | 3,0 nm | Niedervakuum-Modus | — | 3,5 nm | | Vakuum | | | Hochvakuum-Modus | < 9*10-3 Pa | < 9*10-3 Pa | Niedervakuum-Modus | — | 3 - 150 Pa | Arbeitsmodi Elektronenoptik | Resolution, Depth, Field, Wide Field, Channeling | Vergrößerung | 2,5 bis 1.000.000 fach | Standard Detektoren | SE, Strahlstrommessung, Berührungsmelder | SE, Strahlstrommessung, Berührungsmelder, RE | Optionale Detektoren | RE, TE, EBIC, EBSD, EDX, WDX*, Chamberscope ... | TE, EBIC, EBSD, EDX, WDX*, LVSTD (bis 150 Pa), Chamberscope ... | Beschleunigungsspannung | 200 V to 30 kV | Kathodensystem | Wolfram-Haarnadelkathode | Strahlstrom | 1 pA bis 2 µA | Vakuumsystem | Vollautomatisch, inklusive Rotationsvorpumpe und luftgekühlter Turbomolekularpumpe; Pumpzeit ca. 2-3 Minuten | Systemvoraussetzungen | 230 V / 50 Hz oder 120 V / 60 Hz, 1300 VA, kühlwasserfreies System, Druckluft 4,5 bis 6 bar, trockener Stickstoff 1,5 bis 5 bar, minimale Aufstellfläche 3 x 3 m (Gerät ca. 2,20 x 1,20 m) |
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| | | * weitere Kammern und Tische auf Anfrage | | | Wide Field Optics und In-Flight Beam Tracing sind eingetragene Warenzeichen von Tescan, a.s. Windows ist ein eingetragenes Warenzeichen der Microsoft Corporation USA und anderer Länder. |
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