Als Neugerät oder
Upgrade Ihres CamScan REM

 
Das EO SCAN VEGA XL-H REM basiert auf von EO generalüberholten großen CamScan Probenkammern mit deren bewährt stabilen Probentischen.
 

Die EO SCAN Rasterelektronenmikroskope werden von TESCAN mit der innovativen VEGA Elektronenoptik, Softwaresteuerung und Elektronik, sowie einem neuen Vakuumsystem ausgestattet. Damit ist das EO SCAN REM auf dem neusten Stand der Technik.
 
Besitzer eines älteren CamScan Rasterelektronenmikroskops können ihr REM durch den Umbau zum EO SCAN modernisieren lassen. Im Normalfall erhält der Kunde das neue VEGA XL-H im direkten Austausch gegen sein altes CamScan REM. Es fallen also keine längeren Ausfallzeiten an.
Falls der Kunde seine derzeitige Probenkammer mit Probentisch behalten möchte und auf das REM für einige Wochen verzichten kann, wird sein REM speziell für ihn umgebaut.
 
Das EO SCAN ist auch als Neugerät eine interessante Alternative für Anwender, die bisher kein CamScan Rasterelektronenmikroskop besessen haben!
 

Typ

EO SCAN  VEGA XL-H

Kammer

315 x 315 x 315 mm mit 30° Abnahmewinkel*, 10 freie Flansche, Einblickfenster, automatische Innenbeleuchtung durch LED

Probentisch

Euzentrischer Goniometertisch, motorisiert in X = 100 mm und Y = 50 mm*, Z = 60 mm, Z’ = 10 mm, R = 360° kontinuierlich - motorisiert, Kippwinkel = -5° bis +90°, max. Probenhöhe = 80 mm

Auflösung

3,0 nm

Vakuum

Hochvakuum < 1*10-2 Pa

Arbeitsmodi

Resolution, Depth, Field, Wide Field, Rocking Beam

Vergrößerung

3 bis 1.000.000 fach, 3 fach im Wide Field Modus

Detektoren
Standard
Option

 
SE, Strahlstrommessung, Berührungsmelder
RE, TE, EBIC, EBSD, EDX, WDX, CCD Kamera ...

Beschleunigungsspannung

200 V bis 30 kV

Kathodensystem

Wolfram-Haarnadelkathode

Strahlstrom

1pA bis 2 µA

Vakuumsystem

Vollautomatisch, inklusive Rotationsvorpumpe und luftgekühlter Turbomolekularpumpe; Pumpzeit ca. 2-3 Minuten

Systemvoraussetzungen

230 V / 50 Hz oder 120 V / 60 Hz, 1300 VA,
kühlwasserfreies System, trockener Stickstoff 1,5 bis 5 bar,
Druckluft 4,5 bis 6 bar, minimale Aufstellfläche 3 x 3 m (Geräteabmaße ca. 2,25 x 1,10 m)

* weitere Kammern und Tische auf Anfrage

Wide Field Optics™ und In-Flight Beam Tracing™ sind eingetragene Warenzeichen von Tescan, a.s.
Windows™ ist ein eingetragenes Warenzeichen der Microsoft Corporation USA und anderer Länder.