Die einzigartige Wide Field Optics basiert auf einer von Tescan neu entwickelten Vier-Linsen-Elektronenoptik mit automatisch optimierter Einstellung des Strahldurchmessers (COSS = Computer Optimised Spot Size). Dem Benutzer stehen fünf Abbildungsmodi zur Verfügung, die für verschiedene Anwendungen optimiert sind. Die vollständige PC-Steuerung des optischen Systems erlaubt ein einfaches und schnelles Umschalten zwischen den Arbeitsmodi mit voreingestellten Arbeitsparametern. In Kombination mit den automatisierten Prozeduren für Strahljustierung, Fokussierung und Astigmatismus-Korrektur bietet sie dem Anwender höchsten Komfort und eine gute Reproduzierbarkeit der Arbeitsergebnisse. |