Inhalt:
Im theoretischen Teil des Lehrgangs wurde nötiges Hintergrundwissen vermittelt, um in der Laborpraxis schnell optimale Ergebnisse erzielen zu können. Hierbei wurde besonders auf die Interpretation und die Aufnahme der Spektren eingegangen.
In praktischen Exkursen wurde der Umgang mit Oxford INCA Energy Systems intensiv trainiert. Neben alltäglichen Routinemessungen wurden die speziellen Funktionen und Methoden der EDX-Analyse vorgestellt. Ein weiterer Schwerpunkt war das Erkennen von Analysefehlern und Messproblematiken deren Umgehung, Vermeidung oder Beseitigung. Zudem wurde auf Probenpräparation und Beschichtung eingegangen.
Die Teilnehmer konnten vorab eigene Themenvorschläge einreichen.
Standardfreie EDX-Analyse:
• Grundlagen
• Qualitative- trifft Quantitative-EDX Analyse
• EDX Analyse leichter Elemente
• Analyse von sehr kleinen Volumen und von dünnen Schichten
• Simulation von EDX-Spektren
Oxford INCA Energy Software:
• Aufbau der INCA Software
• Erläuterungen der verschiedenen Einstellungen
• Beschreibung der Messmodule (Analyser, Point&ID, Mapping)
• Vorstellen der Erweiterungen und deren Nutzen
Oxford INCA Hardware:
• Energiedispersive Röntgenspektrometer (Vergleich SiLi / SDD)
• Erläuterung des Pulsprozessors (x-stream)
• Funktion der Bildaufnahme (mics)?
• Einstellungen am REM
• Zusammenspiel REM / EDX
An wen richtet sich der Kurs:
Der Kurs richtet sich an Einsteiger ohne Vorkenntnisse in der EDX-Analyse, sowie an Anwender die sich bereits seit Jahren mit EDX beschäftigen. Der Kurs wird in Einsteiger und Fortgeschrittene eingeteilt.
Übungsgeräte:
TESCAN VEGA XMU (W-REM) und TESCAN MIRA XMU (FE-REM),
beide mit neuesten Oxford EDX – Systemen ausgestattet. | 
